목록진동허용치 (1)
아이티에스(주)
미세 진동의 측정
미세 진동(Micro-Vibration)은 인간이 감지하게에 매우 적은 수준이지만 고사양의 정밀급 진동전용 측정 장비로는 측정이 가능 합니다. 미세 진동(Micro-Vibration)의 수준은 보다 정확히 정의하자면 1-100Hz 사이의 주파수 범위에서 50 μm/s 이하의 진동 수준을 갖는 진동을 의미 합니다. 반도체의 기술 발달 및 수요가 증가 하면서, 게이트의 길이는 줄어들었고 어느 반도체 생산 기업이 제공하는 가장 짧은 길이는 5nm이며 이는 제조 공정에서 많은 고정밀 계측기가 사용되야 하며 이 또한 미세 진동의 영향을 받습니다. 이를 제대로 제어하지 않으면 웨이퍼의 수율이 크게 낮아집니다. 미세 진동(Micro-Vibration)은 IC 공장의 내부 또는 외부에서 발생 될 수 있습니다. 외부에서..
기술자료실
2022. 4. 25. 17:02